Microlitógrafo Óptico Firefly-RE

El microlitógrafo óptico Firefly-RE es el equipo ideal para laboratorios de investigación que buscan precisión y confiabilidad. Diseñado para registrar patrones con resoluciones de hasta 450 nm sobre una rejilla de mapeo de 108 nm (54 nm en modo X2)*, este dispositivo combina sistemas mecánicos de alta precisión con un avanzado diseño óptico, proporcionando capacidades excepcionales para aplicaciones avanzadas.

Software de Operación Avanzado

El Firefly-RE incluye un software intuitivo con una interfaz web accesible desde cualquier dispositivo conectado a la red. Este software simplifica la operación y calibración del equipo, e incorpora un módulo de conexión remota para diagnósticos, actualizaciones y operación desde nuestra planta. La seguridad está garantizada mediante claves de acceso robustas y protocolos de comunicación encriptados SSL.

Características Técnicas Destacadas

• Tecnología: Proyección de Máscara Digital
• Longitud de Onda de Operación: 405 nm
• Área de Impresión: 100 mm x 100 mm, 160 mm x 160 mm, 200 mm x 200 mm
• Resolución: 450 nm, 600 nm, 900 nm
• Sistema de Posicionamiento: Motor lineal sin escobillas con guías de rodillos cruzados de alta precisión, repetitividad bidireccional de ±30 nm RMS, y encoders de posición con resolución de 4.88 nm.
• Sistema de Autofoco: Garantiza la exposición sobre sustratos con variaciones en su topografía.
• Microscopio de Observación: Equipado con un microscopio que permite examinar la muestra y realizar procedimientos de reposicionamiento en caso de requerir múltiples exposiciones.
• Estructura de Granito: Construida sobre una estructura de granito para garantizar una estabilidad mecánica superior.

*La rejilla de mapeo y el tamaño de punto (resolución) varían según el modelo seleccionado.

Servicios Adicionales

• Diagnóstico Remoto: Servicio de monitoreo remoto y diagnóstico de fallos (Remote Monitoring and Failure Diagnosis Service, RM&FDS) a través de Internet por 1 año,

Más Información

Si desea conocer más sobre el Firefly-RE sus capacidades y especificaciones técnicas, no dude en contactarnos. Nuestro equipo estará encantado de proporcionarle toda la información necesaria para ayudarle a evaluar cómo el Firefly-RE puede satisfacer sus necesidades.